原子层沉积设备

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SHELL

发布时间：2024-02-27 21:09:29 浏览次数：221次

反应器容积：100 cc ~ 500 cc

过滤器尺寸：变量(0.5 µm~ )

反应器加热：最高300℃

（反应器器体：230℃以上）

反应器旋转：直流电机驱动器

转速：10 ~ 60 rpm