卷绕式设备

FHR.Roll.300 卷对卷镀膜设备基于镀膜工艺鼓，通过单向卷绕物理气相沉积溅射方式对宽度最大300mm的金属箔和塑料膜进行膜层沉积工艺，过程中应用覆膜辊。本设备可根据客户需要进行客户定制。

卷对卷设备被设计镀膜过程中导辊不接触镀膜面。覆膜辊将在放卷和收卷区域使用。

设备总体设计基于一个不锈钢腔室，该腔室被两个压力式门阀分隔为一个卷绕区和一个工艺区，可在工艺区不破真空的条件下实现对卷绕区的排空。工艺区包含一个工艺鼓，其周围环绕安放四个平面溅射源和一个清洗/刻蚀预处理装置。

同样的设备也可安装四个旋转溅射源。