在线式设备
发布时间：2024-03-01 14:44:48 浏览次数：303次
用于大面积大规模生产的直线式设备，用于PVD和PECVD工艺
| Line.700.V
| Line.1500.H
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尺寸 （长度×宽度×高度） | 4.7 米 × 4.4 米× 2.5 米（仅基础模块） | > 10 米（根据所需工艺而定）× 6.5 米 × 2.5 米 |
| 最大基片尺寸 | 550 毫米 × 600 毫米 × 20 毫米 | 1.2毫米× 2.0米 |
| 溅射源 | 每面可高达6 件FHR.SR.750-DC/RF | 最长可达1,500毫米 |
| 基板温度 | -- | 室温至最高150°C |
