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发布时间：2024-03-01 15:23:07 浏览次数：572次
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| 2英寸DLI-CVD / DLI-ALD设备 | 经济适用 100mmDLI-CVD/DLI-ALD设备 | 8英寸DLI-CVD/DLI-ALD设备 可选配远程等离子体装置 |
最多4个直喷液体注入式雾化器 可从室温升高到1100℃ 红外卤素灯管加热 原位退火能力（RTP） 多重工艺设备 多达8条带MFC的工艺气路 可选配手套箱接口 | 高达3个直喷液体注入式雾化器 可从室温升高到800℃ 多重工艺设备：CVD,ALD等 可旋转加热的基板底座 多达8条带MFC的工艺气路 可选配自动装载模式 | 高达4个直喷液体注入式雾化器 可从室温升高到800℃ 多重工艺设备：CVD,ALD等 可旋转加热的基板底座 多达8条带MFC的工艺气路 可选配自动装载模式 |
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