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发布时间：2024-03-01 15:08:20 浏览次数：624次
多功能快速高温退火设备
适应尺寸：100mm（4"）及150mm（6"）
AS-One | AS-Premium | |
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| 概述 | 100mm(4")和150mm(6")设备冷壁技术 具备标准真空性能立式设备，减少占地面积 | 可处理尺寸达156x156 mm2 基片的RTP设备 温度范围：室温到1300℃ 具备标准真空性能 多种腔室和灯管配置 |
| 基片尺寸 | 可处理直径达100mm（4英寸）的基 As-One150可处理直径达150mm（6英寸）的基片，小基片可使用托盘 | 尺寸达156x156 mm2 的基片，小基片可使用托盘 |
| 温度范围 | 标准版本：高达1250℃ 高温版本：高达1450℃(1300℃ )--针对4" | 标准版本：1100℃ 高温版本和双侧加热版本：1300℃ |
| 真空和气体 | 最多5路由数字MFC控制的工艺气路 一条吹扫气路 真空阀和真空规 | 最多8路由数字MFC控制的工艺气路 一条吹扫气路 真空阀和真空规 |
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