8"基片适用
发布时间：2024-03-01 15:18:51 浏览次数：354次
可满足从研发到生产200mm 需求的RTP设备 温度范围：室温到1450℃ 具备标准真空性能 手动或盒到盒装载模式
 
| 基片尺寸 | 最大直径200mm 可处理3x100mm基片 小基片可使用托盘 |
| 工艺腔室 | 不锈钢冷壁腔室技术 |
| 温度范围 | 根据版本 最高温度可达1150℃，1250℃ 或1450℃ |
| 温度控制 | 热电偶和高温计温度控制 快速数字PID/RTP温度控制器 |
| 真空和气体 | 最多8路由数字MFC控制的工艺气路 一条吹扫气路 真空阀和真空规 |
