工艺研发及升级

我们与法国、德国、美国等国家有着长期且密切的合作，对前沿工艺与技术有较多接触。可以对如下设备进行升级及工艺研发：

1. 对PVD设备进行升级改造例如：增加等离子清洗通过生成等离子体、离子轰击和表面清洗三个步骤，有效地去除材料表面的污垢和油脂。可以提高镀膜质量，提高设备良率。

2. 对RTP设备进行---改变腔室、单通道冷却改为双通道冷却、增加设备温区，提高了设备温度均匀性、对托盘的定位销进行升级，使得托盘升降更顺滑。

3. 可对PLC模块进行升级。

4. 可对设备进行升级改造

	可以对CVD、ALD等设备加装雾化器喷头，以改善前驱源进入反应腔室的状态，使设备性能更优。这种设备加装后可以提高反应效率、降低杂质残留、改善生产环境，从而实现更优的生产结果。
	可以对设备的气体面板进行更换，此阀门可用于高温和特殊气体管道。
	可加装在设备内部，对方阻进行实时数据输出，对流程实现闭环反馈。
	通过微波技术使wafer悬空，进行非接触传片，防止在传送过程中对wafer划伤。