联系我们contact
电话：010-82254950
地址：北京市石景山区八大处路49号院1号楼层903室
您现在的位置 : 首页 >> 产品中心 >> 检测设备及耗材
发布时间：2024-02-27 21:35:29 浏览次数：483次
静电夹持卡盘基于电容技术同时可以整合基片的冷却和加热
用于PVD，CVD，干法刻蚀，离子植入等设备。
适用衬底材料：硅，Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体和绝缘体
适用衬底尺寸：最大450mm直径基片
上一篇：靶材
下一篇：工艺气体配气盘柜
