针阀/过滤器/起泡器

针阀：

1. 外密封漏率：<2.10e-10

2. 工作温度：0-70℃

3. 工作压力：30 bar

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过滤器：                                  

1. 过滤值：0.22μm

2. 外密封漏率：< 5.10e-10

3. 工作温度：0-70℃

4. 工作压力：30 bars

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起泡器：

MOCVD/ALD 前驱源钢瓶 800ml